随着科学技术的飞速发展，传感器的连续测量具有其不可替代的优点。即使这样，仍需要进行线性补偿，因为测量的参数多，且其稳定性和灵敏度与流量和采样信号之间存在非线性关系。随着科技不断地进步，补偿技术也不断地进行修改与完善，测量的精度和范围热式都使流量传感器有很大的提高，但是仍存在一些不足之处，如一致性差、流速低、热扰动小、耐腐蚀性差、价格高、易损坏等。近年来热消散TMF的研究工艺突飞猛进，性能已经趋于稳定，受各个领域市场的欢迎。但是国外产品的价格偏高，而国内产品性能无法达到国外同类产品的水平。当前，国内外投入生产使用的热式质量流量传感器总体所需成本较高而且工艺复杂，现将对一些工艺进行改进，设计出一款较为简单的热式气体质量流量计。,       新型半导体传感器主要由恒温功率探头和温度检测探头两部分组成。其中T1采用西法HC-05B恒温控制器，参数为Φ5mm*4mm，当正常工作状态时，会稳定在102℃状态。在正常工作状态下，气体会带走部分热量，为了使温度一直处于102℃，经过T1的电流或者电压会相应的增加。通过数学函数公式就可以计算出流体的质流速［2］。,